多孔セラミックス

押出方向に多数の貫通孔を製作可能な独自技術

多孔質セラミックスでは安定しにくい流量も、押出方向に形成された貫通孔で安定します。
高精度の小さな孔や均一な沢山の孔は、気体・液体の流量制御に適しています。多孔質体と違い、直線的に孔が貫通しているので均一で安定した流量を得られ、圧力損失も小さくなります。

●多孔質セラミックスの構造

一般的な手法で多孔質セラミックスを製造すると気孔がランダムに散らばった構造になります。この構造では、開気孔の数や位置のバラつき、閉気孔による圧損損失のため、流動が異なる箇所が発生します。

・半導体製造装置部品
（フィルタ、各種ノズル、整流板、流量制御、マイクロリアクター）

●多孔セラミックス事例